1 简介

真(zhen)空(kong)泵是一种旋(xuan)转式变容真(zhen)空(kong)泵须(xu)有(you)前级泵配合(he)方可使用在较(jiao)宽的压(ya)力范围(wei)内有(you)较(jiao)大的抽速对被抽除气体中(zhong)含(han)有(you)灰尘(chen)和水蒸汽不敏感广泛用于冶金、化(hua)工、食品、电子镀膜等行业(ye)。[1]

2 特点

(1)在较宽的压力范围内有较大(da)的抽速；

(2)转子(zi)具有良好的几何对称(cheng)性，故(gu)振(zhen)动小，运转平稳。转子(zi)间(jian)(jian)及转子(zi)和壳体间(jian)(jian)均有间(jian)(jian)隙，不(bu)用(yong)润滑(hua)，摩擦损失小，可大大降低驱动功(gong)率，从而(er)可实(shi)现(xian)较高转速(su)；

(3)泵腔(qiang)内无(wu)需用油密封和润滑，可减少油蒸(zheng)气对真空系统的污染；

(4)泵腔内(nei)无(wu)(wu)压缩，无(wu)(wu)排气(qi)(qi)阀(fa)。结构简单、紧凑，对被(bei)抽气(qi)(qi)体中的灰尘和水蒸汽不敏感；

(5)压缩比较低，对氢(qing)气抽气效果(guo)差；

(6)转子表面为形状较(jiao)为复杂的曲线柱面，加工(gong)和(he)检查比较(jiao)困难。

3 结构

（1） 泵(beng)总体结构型式

真空泵(beng)的泵(beng)体的布置结(jie)(jie)构决(jue)定了(le)泵(beng)的总(zong)体结(jie)(jie)构。

立式结构的(de)进、排(pai)气口水平设置(zhi)，装配和(he)连接管路(lu)都比较(jiao)方便。但(dan)泵的(de)重(zhong)心较(jiao)高(gao)(gao)，在高(gao)(gao)速(su)运转时稳定性(xing)差，故这种型(xing)式多用于小泵。

卧式(shi)泵的进(jin)气口(kou)(kou)(kou)(kou)在(zai)上，排气口(kou)(kou)(kou)(kou)在(zai)下。有时为了真空系统(tong)管道(dao)安(an)装(zhuang)连接方(fang)(fang)便，可将排气口(kou)(kou)(kou)(kou)从水(shui)平方(fang)(fang)向接出，即进(jin)、排气方(fang)(fang)向是相(xiang)互垂(chui)直的。此时，排气口(kou)(kou)(kou)(kou)可以从左(zuo)或右两(liang)个(ge)方(fang)(fang)向开(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)，除接排气管道(dao)一(yi)端(duan)外，另一(yi)端(duan)堵(du)死或接旁通阀。这(zhei)种(zhong)泵结(jie)构重(zhong)心(xin)低，高速运转(zhuan)时稳定(ding)性好。一(yi)般大(da)、中(zhong)型泵多采用(yong)此种(zhong)结(jie)构。

泵的两个转(zhuan)子轴(zhou)与(yu)水平面垂直(zhi)安装(zhuang)。这种结构装(zhuang)配间隙容(rong)易控制，转(zhuan)子装(zhuang)配方(fang)便，泵占地(di)面积小。但泵重心(xin)较高且齿轮(lun)拆装(zhuang)不便，润(run)滑机构也(ye)相对复杂。

（2） 泵(beng)的传动(dong)方式

真空(kong)泵(beng)的两(liang)(liang)个转子(zi)是(shi)通(tong)过一对(dui)高精度齿(chi)轮(lun)来实现(xian)其相对(dui)同(tong)步运转的。主(zhu)(zhu)(zhu)动(dong)(dong)(dong)轴(zhou)(zhou)通(tong)过联轴(zhou)(zhou)器与电(dian)机(ji)(ji)联接(jie)。在传动(dong)(dong)(dong)结(jie)构布置上主(zhu)(zhu)(zhu)要(yao)有以下两(liang)(liang)种(zhong)：其一是(shi)电(dian)动(dong)(dong)(dong)机(ji)(ji)与齿(chi)轮(lun)放在转子(zi)的同(tong)一侧如图。从(cong)动(dong)(dong)(dong)转子(zi)由(you)电(dian)动(dong)(dong)(dong)机(ji)(ji)端齿(chi)轮(lun)直接(jie)传过去(qu)带动(dong)(dong)(dong)，这样主(zhu)(zhu)(zhu)动(dong)(dong)(dong)转子(zi)轴(zhou)(zhou)的扭转变(bian)形(xing)小(xiao)，则两(liang)(liang)个转子(zi)之间的间隙不会因主(zhu)(zhu)(zhu)动(dong)(dong)(dong)轴(zhou)(zhou)的扭转变(bian)形(xing)大而改变(bian)，故使转子(zi)之间的间隙在运转过程中均匀(yun)。这种(zhong)传动(dong)(dong)(dong)方(fang)式的最大缺(que)点是(shi)：a.主(zhu)(zhu)(zhu)动(dong)(dong)(dong)轴(zhou)(zhou)上有三个轴(zhou)(zhou)承，增加(jia)了泵(beng)的加(jia)工和(he)装(zhuang)配难度，齿(chi)轮(lun)的拆(chai)装(zhuang)及调(diao)整也不便(bian)；b.整体结(jie)构不匀(yun)称(cheng)，泵(beng)的重心(xin)偏向电(dian)动(dong)(dong)(dong)机(ji)(ji)和(he)齿(chi)轮(lun)箱一侧。

    极(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)”是(shi)(shi)(shi)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)的(de)(de)(de)(de)(de)一(yi)个(ge)(ge)重要参(can)数(shu)，是(shi)(shi)(shi)反应泵(beng)抽气能(neng)力的(de)(de)(de)(de)(de)特性值，是(shi)(shi)(shi)与(yu)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)相关的(de)(de)(de)(de)(de)一(yi)个(ge)(ge)数(shu)值，不同的(de)(de)(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)可(ke)以有不同的(de)(de)(de)(de)(de)“极(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)”度。而(er)(er)“理(li)论真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)”是(shi)(shi)(shi)理(li)论研究时的(de)(de)(de)(de)(de)一(yi)个(ge)(ge)概念，是(shi)(shi)(shi)排(pai)除各种(zhong)实(shi)际(ji)因素(su)的(de)(de)(de)(de)(de)影响而(er)(er)提炼(lian)出的(de)(de)(de)(de)(de)一(yi)种(zhong)最理(li)想(xiang)的(de)(de)(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)状态。真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)容(rong)(rong)器(qi)(qi)经(jing)充分抽气后(hou)，稳(wen)定在(zai)某(mou)一(yi)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度，此(ci)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度称为极(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)。通(tong)常真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)容(rong)(rong)器(qi)(qi)须经(jing)12小(xiao)时炼(lian)气，再经(jing)12小(xiao)时抽真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)，最后(hou)一(yi)个(ge)(ge)小(xiao)时每隔10分钟测量一(yi)次，取(qu)其10次的(de)(de)(de)(de)(de)平均值为极(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)值。